X射線管發出X射線照射樣品，樣品中所含的原子則向外發射原子*的X射線。這種X射線被稱為熒光X射線，各元素具有特定的波長（能量）。因此送ü觳釾射線的波長就能夠進行定性分析。另外，熒光X射線的強度與濃度具有函數關系，檢測每個元素X射線特征波長的X射線量就能進行定量分析。
X射線熒光光譜儀能夠對多種材料進行元素分析，包括固體、液體和疏松粉末。X射線熒光光譜儀專為滿足要求嚴苛的流程控制和研發應用需求而設計，其高品質的設計和創新功能居于市場優勢地位，可對從鈹到镅等多種元素進行精度范圍從百萬分之一以下到百分之一的分析。
X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散為主。
1．能量色散熒光光譜儀
能量色散型儀器的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。
2．波長色散熒光光譜儀
此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多，特別是進口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業人員。
波長型優點是用在原材料廠上，其測定的數據準確，給生產廠以確信的合格材料。
缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。
3．能量色散和波長色散原理上的區別：
能量色散法是將X射線激發被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產生測量誤差。硬件決定了之后，儀器水平的高低，往往就在這里。
波長法是因其激發出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。
